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The influence of amorphous TaNx under-layer on the crystal growth of over-deposited Ta film |
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期刊:Thin Solid Films 作者:Wei-Lin Wang; Wei-Chun Chen; Kuo-Tzu Peng; Hsien-Chang Kuo; Ming-Hsin Yeh; et al 出版日期:2016-01-28 |
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