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 Improvement and compensation of temperature drift of scale factor of a SOI-based MEMS differential capacitive accelerometer 相关领域
加速度计
微电子机械系统
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比例因子（宇宙学）
绝缘体上的硅
补偿（心理学）
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期刊：Measurement Science and Technology 作者：Yanxin Zhai; Tiantong Xu; Guoqiang Xu; Xiaoda Cao; Chunhui Yang; et al 出版日期：2023-04-03 |
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