Investigation of mechanical force acting on the surface modified-substrate layer area during the chemical-mechanical micro-grinding of monocrystalline silicon

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标题	Investigation of mechanical force acting on the surface modified-substrate layer area during the chemical-mechanical micro-grinding of monocrystalline silicon
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S002074032...
DOI	10.1016/j.ijmecsci.2022.107482 doi
其它	期刊：International Journal of Mechanical Sciences 作者：Wei Li; Yi Jiao; Hai-Yang Jiang; Ying-Hui Ren; Ahmed Mohamed Mahmoud Ibrahim 出版日期：2022-06-27
求助人	葛一豪在 2026-03-25 14:07:36 发布自德国，悬赏 10 积分
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