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Quantitative analysis of incident energy and ionization rates of flying particles generated by the Reactive Plasma Deposition with dc arc discharge
直流电弧放电反应等离子体沉积飞行粒子入射能量和电离率的定量分析
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期刊：The Japan Society of Applied Physics 作者：Hisashi Kitami 出版日期：2015-07-17 |
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