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标题
Room temperature inductively coupled plasma etching of InP with Cl2 mixtures using SiO2 and photoresist masks
使用SiO2和光刻胶掩模的Cl2混合物室温电感耦合等离子体刻蚀InP
相关领域
光刻胶 感应耦合等离子体 蚀刻（微加工） 反应离子刻蚀 材料科学 分析化学（期刊） 干法蚀刻 等离子体刻蚀 选择性 等离子体 各向异性 光电子学 化学 图层（电子） 纳米技术 光学 色谱法 物理 生物化学 量子力学 催化作用
网址
https://doi.org/10.1116/6.0003295
DOI
10.1116/6.0003295 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：Qingyue Li; Claire Deeb; Hélène Debregeas; Jean-Luc Pélouard
出版日期：2024-02-14
求助人
缘叶 在 2024-12-17 11:23:53 发布自湖北，悬赏 10 积分
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