Dependence of film structure on the film structure-independent equivalent film thickness in magnetron sputtering deposition of Ag thin films

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标题	Dependence of film structure on the film structure-independent equivalent film thickness in magnetron sputtering deposition of Ag thin films 磁控溅射Ag薄膜中膜结构与膜结构无关的等效膜厚的关系相关领域微观结构材料科学薄膜复合材料溅射沉积基质（水族馆）扫描电子显微镜溅射透射率沉积（地质）腔磁控管光学光电子学纳米技术生物海洋学物理地质学古生物学沉积物
网址	https://doi.org/10.1116/6.0001989
DOI	10.1116/6.0001989 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Eiji Kusano 出版日期：2022-09-01
求助人	Eliauk 在 2023-08-28 19:06:38 发布自陕西，悬赏 10 积分
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