Residual stress and tribological behavior of hydrogen-free Al-DLC films prepared by HiPIMS under different bias voltages

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标题	Residual stress and tribological behavior of hydrogen-free Al-DLC films prepared by HiPIMS under different bias voltages HiPIMS制备的无氢Al-DLC薄膜在不同偏压下的残余应力和摩擦学行为相关领域材料科学高功率脉冲磁控溅射残余应力摩擦学氢复合材料电压冶金压力（语言学）法律工程学薄膜溅射沉积纳米技术溅射电气工程化学语言学哲学有机化学工程类
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2022.128713
DOI	10.1016/j.surfcoat.2022.128713 doi
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