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Light Induced Recombination Center at SiO2/Si Interface by the Reactive Plasma Deposition 相关领域
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期刊:Electronic Materials Letters 作者:Tomohiko Hara; Taichi Tanaka; Kazuhito Nakagawa; Yuki Isogai; Takefumi Kamioka; Yoshio Ohshita 出版日期:2021-05-26 |
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