Unraveling the reaction mechanisms in a chemically-amplified EUV photoresist from a combined theoretical and experimental approach

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标题	Unraveling the reaction mechanisms in a chemically-amplified EUV photoresist from a combined theoretical and experimental approach
网址	https://doi.org/10.1117/12.3051002
DOI	10.1117/12.3051002 doi
其它	期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XLII 作者：Laura Galleni; Dhirendra P. Singh; Thierry Conard; Geoffrey Pourtois; Paul A. W. van der Heide; et al 出版日期：2025-04-23
求助人	ZHAO 在 2026-09-14 22:04:08 发布自北京，悬赏 20 积分
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