High-precision multi-scale data fusion method for micro-nano CMM and white light interferometer

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标题	High-precision multi-scale data fusion method for micro-nano CMM and white light interferometer
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.optlastec.2025.112927
DOI	10.1016/j.optlastec.2025.112927 doi
其它	期刊：Optics & Laser Technology 作者：Yunlong Liu; Zhenying Cheng; Mengting Cheng; Qiangxian Huang; Ruijun Li 出版日期：2025-10-01
求助人	asda 在 2026-09-21 12:06:46 发布自湖北，悬赏 10 积分
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