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 Room Temperate Bonding of Al2O3 Layers by Atomic Layer Deposition on Polyimide Substrates 相关领域
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期刊：ECS Meeting Abstracts 作者：Takashi Matsumae; Thomas Dushatinski; Tarek M Abdel-Fattah; Tadatomo Suga; Kai Zhang; et al 出版日期：2020-02-27 |
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