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标题
Control of edge bulge evolution during photoresist reflow and its application to diamond microlens fabrication
网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.4943558
DOI
10.1116/1.4943558 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
作者：Hangyu Liu; Johannes Herrnsdorf; Erdan Gu; Martin D. Dawson
出版日期：2016-03-01
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junc 在 2026-09-20 10:51:40 发布自荷兰，悬赏 10 积分
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