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 Al-Si-N hard coatings with tunable structural and optical properties via silicon content modulation 相关领域
材料科学
无定形固体
X射线光电子能谱
结晶度
硅
纳米复合材料
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光电子学
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期刊：Ceramics International 作者：Fengji Li; Deen Sun; Yuehua Huang; Hongji Du; Jason Qi 出版日期：2026-02-01 |
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