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 Global warming impact assessment of abatement systems for extreme ultraviolet lithography in wafer production: effect of hydrogen recycling and electricity sourcing 相关领域
环境科学
全球变暖
电
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影响评估
环境影响评价
氢
生命周期评估
极紫外光刻
气候变化
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环境工程
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极端紫外线
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材料科学
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期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology 作者：Lizzie Boakes; Ton Van der Net; Carlo Luijten; Theo Thijssen; Chris Bailey; et al 出版日期：2026-01-22 |
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