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 Catalytic mechanism of tribochemical mechanical polishing on (0001) C-face of single crystal 6H-SiC substrate 6H-SiC单晶（0001）C面摩擦化学机械抛光的催化机理
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期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 作者：Mingpu Xue; Wen Xiao; Tianyi Zhang; Zhankui Wang; Jianxiu Su 出版日期：2023-05-20 |
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