First-principles insights into the synergistic chemical–mechanical removal mechanism of 4H-SiC in chemical mechanical polishing

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标题	First-principles insights into the synergistic chemical–mechanical removal mechanism of 4H-SiC in chemical mechanical polishing
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.163991
DOI	10.1016/j.apsusc.2025.163991 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Changqi Xu; Xin Song; Li Ning; Yan Su; Renke Kang; et al 出版日期：2025-07-05
求助人	um 在 2026-09-29 22:08:53 发布自山西，悬赏 10 积分
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