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标题
Dry etch patterning properties of organic underlayer used on EUV metal oxide resist platform
网址
https://doi.org/10.1117/12.3091544
DOI
10.1117/12.3091544 doi
其它 期刊：Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning XV
作者：Viktor Kampitakis; Achintya Kundu; Mihir Gupta; Remi Vallat; Hyo Seon Suh; et al
出版日期：2026-04-10
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