Ultraprecision machining for single-crystal silicon carbide wafers: State-of-the-art and prospectives

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标题	Ultraprecision machining for single-crystal silicon carbide wafers: State-of-the-art and prospectives
网址	https://doi.org/10.51393/j.jamst.2025010
DOI	10.51393/j.jamst.2025010 doi
其它	期刊：Journal of advanced manufacturing science and technology 作者：Haoxiang Wang; Renke Kang; Zhigang Dong; Shang Gao 出版日期：2024-08-27
求助人	宋潮在 2026-08-26 00:34:21 发布自山东，悬赏 10 积分
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