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标题
Accuracy evaluation of the point diffraction interferometer for extreme ultraviolet lithography aspheric mirror
网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.1445161
DOI
10.1116/1.1445161 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
作者：K. Otaki; T. Yamamoto; Y. Fukuda; K. Ota; I. Nishiyama; et al
出版日期：2002-01-01
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吧唧嘴吧 在 2026-08-26 22:26:31 发布自安徽，悬赏 10 积分
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  • 2天前

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