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 Effect of amino acid complexing agents on chemical mechanical polishing performance and action mechanism of C-plane sapphire: Combining experiments and theoretical calculations 氨基酸络合剂对C面蓝宝石化学机械抛光性能的影响及作用机理：实验与理论计算相结合
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期刊：Materials Chemistry and Physics 作者：Yida Zou; Xinhuan Niu; Ni Zhan; Jianghao Liu; Xinjie Li; et al 出版日期：2024-04-01 |
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