Influence of silicon content on the microstructure and hardness of CrN coatings deposited by reactive magnetron sputtering

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标题	Influence of silicon content on the microstructure and hardness of CrN coatings deposited by reactive magnetron sputtering 硅含量对反应磁控溅射CrN涂层组织和硬度的影响相关领域材料科学微观结构扫描电子显微镜压痕硬度溅射沉积硅溅射冶金表面粗糙度粒度复合材料薄膜纳米技术
网址	https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2010.02.024
DOI	10.1016/j.matchemphys.2010.02.024 doi
其它	期刊：Materials Chemistry and Physics 作者：Hetal N. Shah; R. Jayaganthan; Davinder Kaur 出版日期：2010-03-17
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