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标题
Synthesis of Al2O3/SiO2 core–shell composite abrasives toward ultrasmooth and high-efficiency polishing for sapphire wafers
蓝宝石晶片超光滑高效抛光Al2O3/SiO2核壳复合磨料的合成
相关领域
材料科学 化学机械平面化 蓝宝石 抛光 磨料 复合数 薄脆饼 复合材料 表面粗糙度 磨损（机械） 芯（光纤） 冶金 纳米技术 光学 物理 激光器
网址
https://doi.org/10.1177/09544089221124226
DOI
10.1177/09544089221124226 doi
其它 期刊：Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers Part E Journal of Process Mechanical Engineering
作者：Yongchao Xu; Guangen Zhao; Qianting Wang; Youji Zhan; Bingsan Chen
出版日期：2022-09-21
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