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 In - Situ Spectral Reflectance Investigation of Heteroepitaxial Grown Β-Ga2o3thin Films on C-Plane Al2o3 Via Movpe Process Movpe工艺在C面Al2o3上异质外延生长β-Ga2O3薄膜的原位光谱反射率研究
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期刊： 作者：Ta-Shun Chou; Saud Bin Anooz; Raimund Grüneberg; Jana Rehm; Arub Ahktar; et al 出版日期：2023-08-09 |
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