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Comparing sputter rates, depth resolution, and ion yields for different gas cluster ion beams (GCIB): A practical guide to choosing the best GCIB for every application
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网址
https://doi.org/10.1116/6.0002864
DOI
10.1116/6.0002864 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Naoki Sano; Allen T. Bellew; Paul Blenkinsopp
出版日期：2023-07-28
求助人
zxh 在 2026-01-26 13:14:37 发布自天津，悬赏 10 积分
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