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标题
Metal-free high-contrast wafer-level step height standards with large height-range based on all-dielectric multilayers
基于全介质多层的大高度范围无金属高对比度晶圆级台阶高度标准
相关领域
材料科学 薄脆饼 电介质 航程（航空） 对比度（视觉） 金属 光电子学 光学 工程物理 冶金 复合材料 物理 工程类
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6528/ade720
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1088/1361-6528/ade720 doi
其它 期刊：Nanotechnology
作者：Jinming Gou; Yuying Xie; Xiao Deng; Jingyuan Zhu; Siyu Dong; et al
出版日期：2025-06-23
求助人
ADC 在 2025-12-12 16:22:59 发布自天津，悬赏 10 积分
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