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 EUV metal oxide hybrid photoresists: ultra-small structures for high-resolution patterning EUV金属氧化物混合光刻胶：用于高分辨率图案化的超小型结构
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期刊： 作者：Kazuki Kasahara; Vasiliki Kosma; Kazunori Sakai; Emmanuel P. Giannelis; Christopher K. Ober; et al 出版日期：2018-03-19 |
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