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标题
Plasma atomic layer etching of molybdenum with surface fluorination
表面氟化钼的等离子体原子层刻蚀
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.157309
DOI
10.1016/j.apsusc.2023.157309 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Yong‐Jae Kim; Hojin Kang; Heeju Ha; Chang‐Koo Kim; Sungmin Cho; et al
出版日期：2023-04-19
求助人
123 在 2025-06-05 10:07:41 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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