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 A Comprehensive Review on the Physicochemical Properties and Microstructure of TiN films by Magnetron Sputtering 磁控溅射TiN薄膜的物理化学性质和微观结构研究综述
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期刊：Surface Review and Letters 作者：Shang Gao; Wenbin Song; Li Wang; Long Cheng; Yuyao Liu; et al 出版日期：2025-02-20 |
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