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![]() 后氧化处理对晶硅上旋涂氧化钛薄膜钝化性能的影响
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期刊:Thin Solid Films 作者:Hao Luo; Van Hoang Nguyen; Kazuhiro Gotoh; Saya Ajito; Tomohiko Hojo; et al 出版日期:2022-11-17 |
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