发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Investigation of the initial deposition steps and the interfacial layer of Atomic Layer Deposited (ALD) Al2O3 on Si
硅上原子层沉积Al2O3初始沉积步骤及界面层的研究
相关领域
原子层沉积 成核 聚结（物理） X射线光电子能谱 硅 材料科学 图层（电子） 岛屿生长 X射线反射率 基质（水族馆） 沉积（地质） 电介质 化学工程 化学物理 纳米技术 薄膜 化学 光电子学 外延 工程类 古生物学 地质学 物理 海洋学 有机化学 天体生物学 生物 沉积物
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2019.06.215
AI链接 archives-ouvertes.fr hal.science hal.science archives-ouvertes.fr archives-ouvertes.frdoi.org
DOI
10.1016/j.apsusc.2019.06.215 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Georgios P. Gakis; Constantin Vahlas; Hugues Vergnes; Sandrine Dourdain; Yann Tison; et al
出版日期：2019-06-22
求助人
香菜大王 在 2025-07-07 10:11:54 发布自北京，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Nucleation and growth of square islands during deposition: Sizes, coalescence, separations and corre...
  2. Atomic layer deposition of MnO using Bis(ethylcyclopentadienyl)manganese and H2O
  3. Ultrahigh x-ray reflectivity from W∕Al2O3 multilayers fabricated using atomic layer deposition
  4. Nucleation theory: Present status and outstanding problems
  5. Tungsten atomic layer deposition on cobalt nanoparticles
  6. The effect of island coalescence on island density during epitaxial growth
  7. Coalescence and impingement between islands in thin film growth: Behavior of the island density kine...
  8. Evidence for Family-Meakin Dynamical Scaling in Island Growth and Coalescence during Vapor Phase Dep...
  9. Dynamic scaling in simulations of island growth and coalescence on substrate steps
  10. Nucleation and Growth of Metallic Thin Films
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 6小时前

    领导范儿 领导范儿 Lv11 上传了文件

    待审核 10.1016@j.apsusc.2019.06.215.pdf (1.84 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 6小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    10:11:57 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    10:11:55 科研通AI机器人（英国 伦敦）收到请求，开始寻找文献
    10:11:54 已向机器人发送请求

  • 6小时前

    香菜大王 香菜大王 Lv463 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
宫野珏发布了新的文献求助10
刚刚
LZL关闭了LZL的文献求助
刚刚
含蓄绿兰发布了新的文献求助10
刚刚
阿吉泰完成签到，获得积分10
刚刚
华仔的应助被风清扬采纳，获得10
刚刚
cdh1994的应助被Dr彭0923采纳，获得10
1秒前
1秒前
爆米花的应助被洁净斑马采纳，获得10
1秒前
1秒前
1秒前
吐丝麵包发布了新的文献求助10
1秒前
1秒前
Light完成签到，获得积分10
1秒前
温婉的乌发布了新的文献求助10
2秒前
坚果发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
2秒前
怡然的代玉完成签到，获得积分10
3秒前
ziyue发布了新的文献求助10
3秒前
Light发布了新的文献求助10
4秒前
可乐龙猫完成签到，获得积分10
4秒前
Hello的应助被宫野珏采纳，获得10
4秒前
CQ发布了新的文献求助10
5秒前
水木的应助被hsialy采纳，获得10
5秒前
西早12发布了新的文献求助10
6秒前
7秒前
张涛发布了新的文献求助30
8秒前
8秒前
吐丝麵包完成签到，获得积分10
9秒前
9秒前
李小聪完成签到 ，获得积分10
10秒前
眼睛大莆完成签到，获得积分10
11秒前
温婉的乌完成签到，获得积分10
11秒前
12秒前
所所的应助被lufei采纳，获得10
12秒前
马明旋发布了新的文献求助10
13秒前
yar的应助被望乐思采纳，获得10
13秒前
liquor发布了新的文献求助10
13秒前
眼睛大莆发布了新的文献求助10
14秒前
研友_VZG7GZ的应助被言无间采纳，获得10
14秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
A Preliminary Study on Correlation Between Independent Components of Facial Thermal Images and Subjective Assessment of Chronic Stress 500
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 360
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3970949
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3515634
关于积分的说明 11179061
捐赠科研通 3250769
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1795474
邀请新用户注册赠送积分活动 875831
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 805188
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通