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Investigation of the initial deposition steps and the interfacial layer of Atomic Layer Deposited (ALD) Al2O3 on Si

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作者
Georgios P. Gakis,Constantin Vahlas,Hugues Vergnes,Sandrine Dourdain,Yann Tison,Hervé Martinez,Jérôme Bour,David Ruch,Andreas G. Boudouvis,Brigitte Caussat,E. Scheid
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2019-06-22 卷期号：492: 245-254 被引量：63
链接
archives-ouvertes.fr hal.science hal.science archives-ouvertes.fr archives-ouvertes.frdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2019.06.215
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