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标题
Optical, structural and aging properties of Al/Sc-based multilayers for the extreme ultraviolet
极紫外Al/Sc基多层膜的光学、结构和老化性能
相关领域
极紫外光刻 极端紫外线 材料科学 透射电子显微镜 衍射 紫外线 光学 光电子学 图层(电子) 纳米技术 物理 激光器
网址
DOI
10.1016/j.tsf.2021.138873 doi
其它 期刊:Thin Solid Films
作者:Jennifer Rebellato; Regina Soufli; Evgueni Meltchakov; Eric M. Gullikson; Sébastien de Rossi; et al
出版日期:2021-08-11
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FashionBoy 在 2025-05-31 06:18:43 发布,悬赏 10 积分
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