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 Photoelectrochemical etching to fabricate single-crystal SiC MEMS for harsh environments 光电化学蚀刻制备恶劣环境下单晶SiC MEMS
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期刊：Materials Letters 作者：Feng Zhao; Mohammad Monirul Islam; Chih‐Fang Huang 出版日期：2010-10-22 |
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