SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Bulk micromachining fabrication platform using the integration of DRIE and wet anisotropic etching
作者
Huai-Yuan Chu,
Weileun Fang
出处
期刊：
Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems
[Springer Science+Business Media]
日期：2005-02-01
卷期号：11 (2-3): 141-150
被引量：2
标识
DOI：10.1007/s00542-004-0441-0
求助该文献
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
英俊的铭
上传了
应助文件
刚刚
星辰大海
的
应助
被
风清扬
采纳，获得
10
1秒前
xiangqing
完成签到
，获得积分
10
1秒前
情怀
上传了
应助文件
1秒前
colinbar
发布了新的
文献求助
10
1秒前
Inory007
发布了新的
文献求助
30
2秒前
qaz123
发布了新的
文献求助
10
2秒前
烟花
的
应助
被
cabbage
采纳，获得
10
3秒前
直率的航空
发布了新的
文献求助
30
3秒前
科研通AI6.4
上传了
应助文件
3秒前
英俊的铭
的
应助
被
11
采纳，获得
10
3秒前
自信紫蓝
完成签到
，获得积分
10
5秒前
任性雨兰
发布了新的
文献求助
10
5秒前
所所
的
应助
被
Pendulium
采纳，获得
10
5秒前
顾矜
上传了
应助文件
6秒前
222222
发布了新的
文献求助
10
6秒前
科目三
上传了
应助文件
6秒前
英姑
上传了
应助文件
7秒前
lzp
完成签到
，获得积分
10
7秒前
领导范儿
的
应助
被
烂漫的铭
采纳，获得
10
7秒前
深情安青
的
应助
被
山野的雾
采纳，获得
10
7秒前
asadguy
发布了新的
文献求助
10
7秒前
兼听则明
上传了
应助文件
9秒前
zzzblue
发布了新的
文献求助
10
11秒前
胡锐
发布了新的
文献求助
10
11秒前
ytt
完成签到，获得积分
10
11秒前
无聊的骁
发布了新的
文献求助
10
11秒前
jxy
完成签到，获得积分
10
12秒前
科研通AI6.4
上传了
应助文件
12秒前
七听
上传了
应助文件
12秒前
难过早晨
的
应助
被
简简
采纳，获得
50
12秒前
大模型
的
应助
被
豆豆浆
采纳，获得
10
12秒前
WFLLL
完成签到，获得积分
10
13秒前
franklin
完成签到，获得积分
10
13秒前
Owen
上传了
应助文件
14秒前
金渝
完成签到
，获得积分
10
14秒前
yoonkk
发布了新的
文献求助
10
14秒前
xfq0829
完成签到，获得积分
10
15秒前
molihuakai
的
应助
被
周一更
采纳，获得
10
16秒前
yue
完成签到，获得积分
10
16秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
HYDROLYSE ACIDE DE QUELQUES DIOXASPIROCYCLANES
1000
Navigating Normative Orders. Interdisciplinary Perspectives
800
1 Peter and Christ's Descent to the Dead in Its Early Christian Reception
700
Essentials of Carbohydrate Chemistry and Biochemistry, 4th Edition
600
Organizational Behavior
510
Management and the Arts
510
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7741038
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
9289533
关于积分的说明
20196239
捐赠科研通
7319208
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3306551
关于科研通互助平台的介绍
2458886
邀请新用户注册赠送积分活动
2316899
今日热心研友
DW
242
2240
cdercder
173
2710
无极微光
144
2790
Nole
104
1950
Kao
34
1840
GingerF
1840
学术文献互助
1560
秋风
38
940
rrr
77
490
wqh
66
560
v0id
51
680
一百分
49
690
我能私信骂你吗
42
730
翟思宇
52
590
掐钰
65
440
柚子茶
42
660
Criminology34
39
620
xjiao
48
490
挖掘机
800
dew
780
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
DW
cdercder
无极微光
Nole
Kao
GingerF
学术文献互助
秋风
rrr
wqh
v0id
一百分
我能私信骂你吗
翟思宇
掐钰
柚子茶
Criminology34
xjiao
挖掘机
dew
皖公网安备34019202002308
