Photoelectrochemical etching to fabricate single-crystal SiC MEMS for harsh environments

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作者
Feng Zhao,Mohammad Monirul Islam,Chih‐Fang Huang
出处
期刊:Materials Letters [Elsevier BV]
卷期号:65 (3): 409-412 被引量:58
标识
DOI:10.1016/j.matlet.2010.10.034
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