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标题
Comparative In Situ Study of the Initial Growth Trends of Atomic Layer-Deposited Al2O3 Films
原子层沉积Al2O3薄膜初始生长趋势的原位比较研究
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网址
DOI
10.1021/acs.jpcc.2c01033 doi
其它 期刊:The Journal of Physical Chemistry C
作者:Holger Saare; Golnaz Dianat; Gregory N. Parsons
出版日期:2022-04-18
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六便士在攒 在 2025-05-25 22:49:00 发布自安徽,悬赏 10 积分
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