Coating film and asymmetric amplitude difference effects on measurement performance in phase grating interference-based metrology

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标题	Coating film and asymmetric amplitude difference effects on measurement performance in phase grating interference-based metrology 膜层和不对称振幅差对相位光栅干涉计量性能的影响相关领域光学干扰（通信）计量学栅栏干涉测量干涉显微镜涂层材料科学振幅相（物质）观测误差衍射衍射光栅白光干涉法物理计算机科学电信纳米技术统计频道（广播）量子力学数学
网址	https://doi.org/10.1364/ao.395804
DOI	10.1364/ao.395804 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Tao Zhang; Tao Sun; Jiean Li; Xingyu Zhao; Jiwen Cui; et al 出版日期：2020-10-23
求助人	小猪佩琪在 2024-02-02 09:00:23 发布自安徽，悬赏 10 积分
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