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 Suppression of Nickel-germanide (NiGe) Agglomeration and NiPenetration by Hydrogen (H) Ion Shower Doping in NiGe on a ThinEpitaxial Ge-on-Si Substrate 相关领域
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期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Min Ho Kang; Ying-Ying Zhang; Kee Young Park; Shi Guang Li; Soon-Yen Jung; et al 出版日期：2009-07-12 |
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