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标题
Reduction of internal stress in InGaZnO (IGZO) thin film transistors by ultra-thin metal oxide layer
超薄金属氧化物层降低InGaZnO(IGZO)薄膜晶体管内应力
相关领域
材料科学 薄膜晶体管 氧化物 退火(玻璃) 压力(语言学) 图层(电子) 光电子学 基质(水族馆) 内应力 薄膜 复合材料 纳米技术 冶金 哲学 地质学 海洋学 语言学
网址
DOI
10.1016/j.mssp.2023.108093 doi
其它 期刊:Materials Science in Semiconductor Processing
作者:Shuo Zhang; Bin Liu; Xi Zhang; Congyang Wen; Haoran Sun; et al
出版日期:2024-01-12
求助人
chaohuix 在 2025-08-27 14:08:11 发布,悬赏 10 积分
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