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Development of planarizing spin-on carbon material for high-temperature processes
相关领域
化学机械平面化 材料科学 化学气相沉积 空隙（复合材料） 聚合物 图层（电子） 平版印刷术 纳米技术 碳纤维 光电子学 复合材料 复合数
网址
https://doi.org/10.1117/12.2552128
DOI
10.1117/12.2552128 doi
其它 期刊：
作者：Runhui Huang; Xing-Fu Zhong; Jakub A. Koza; Boyu Zhang; Gu Xu; et al
出版日期：2020-03-23
求助人
holly 在 2025-10-28 15:54:17 发布自上海，悬赏 20 积分
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