Mass-Sensitive Gas Detectors Based on Bulk Micromachined Silicon Cantilevers Coated by Carbyne-Enriched Nanolayer

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标题	Mass-Sensitive Gas Detectors Based on Bulk Micromachined Silicon Cantilevers Coated by Carbyne-Enriched Nanolayer
网址	http://dx.doi.org/10.1109/ISSE54558.2022.9812768
DOI	10.1109/ISSE54558.2022.9812768 doi
求助人	mm 在 2026-04-22 14:56:12 发布自江苏，悬赏 10 积分
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Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

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