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High-Accuracy Prediction of ScAlN Thin Film Dry Etching Using Machine Learning Driven Regression Modeling |
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期刊:ACS Applied Electronic Materials 作者:Abu Shami MD Zadid Shifat; Rahul Jaiswal; Ravi Kiran Chityala; Aleem Siddiqui; Manel Martinez-Ramon; Tito Busani 出版日期:2024-04-17 |
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