Feedforward compensation of the pose-dependent vibration of a silicon wafer handling robot

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标题	Feedforward compensation of the pose-dependent vibration of a silicon wafer handling robot
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S000785062...
DOI	10.1016/j.cirp.2024.04.081 doi
其它	期刊：CIRP Annals 作者：Cheng-Hao Chou; Chen Qian; Yung-Chun Lin; Shorya Awtar; Chinedum E. Okwudire 出版日期：2024-05-22
求助人	xiangqiandetao 在 2026-05-11 15:22:51 发布自美国，悬赏 10 积分
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