Design and analysis of micro-electrostatic actuator with trapezoidal-shaped comb fingers and folded beams

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标题	Design and analysis of micro-electrostatic actuator with trapezoidal-shaped comb fingers and folded beams
网址	https://doi.org/10.1016/j.rineng.2024.103807
DOI	10.1016/j.rineng.2024.103807 doi
其它	期刊：Results in Engineering 作者：Zonghong Wu; Yuxin Liu; Yuhao Liang; Yu-Sheng Lin 出版日期：2025
求助人	予怀在 2026-05-22 21:21:46 发布自北京，悬赏 10 积分
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