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 Properties of Gallium-Doped Zinc-Oxide Films Deposited by RF or DC Magnetron Sputtering with Various GZO Targets 相关领域
材料科学
溅射沉积
光电子学
兴奋剂
镓
锌
溅射
高功率脉冲磁控溅射
氧化镓
腔磁控管
薄膜
纳米技术
冶金
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期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Sang Eun Park; Jungchul Lee; Pung Keun Song; Jinho Lee 出版日期：2009-03-14 |
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