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  Low-Temperature Processing of Ferroelectric Thin Films Compatible with Silicon Integrated Circuit Technology 与硅集成电路技术兼容的铁电薄膜的低温加工
相关领域
材料科学
硅
薄膜
铁电性
半导体
溶胶凝胶
快速热处理
光电子学
集成电路
纳米技术
电介质
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