High aspect ratio slanted grating replication process with low residual layer thickness

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标题	[高分] High aspect ratio slanted grating replication process with low residual layer thickness 相关领域基质（水族馆）剪裁（形态学）平版印刷术图层（电子）材料科学残余物复制（统计）光学纳米柱栅栏纵横比（航空）计算机科学光电子学纳米技术物理纳米结构数学地质学统计海洋学哲学语言学算法
网址	https://doi.org/10.1051/epjconf/202328704030
DOI	10.1051/epjconf/202328704030 doi
其它	期刊：EPJ Web of Conferences 作者：Bernard Kress; Maria Pace 出版日期：2023-01-01
求助人	卜恸卜恸在 2025-09-27 13:49:57 发布自浙江，悬赏 50 积分
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