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 A bionic approach for the mechanical and electrical decoupling of an MEMS capacitive sensor in ultralow force measurement 超低力测量中MEMS电容传感器机电解耦的仿生方法
相关领域
电容感应
解耦（概率）
微电子机械系统
材料科学
灵敏度（控制系统）
声学
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控制工程
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期刊：Frontiers of Mechanical Engineering 作者：Wendi Gao; Bian Tian; Cunlang Liu; Yingbiao Mi; Jia Chen; et al 出版日期：2023-06-01 |
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