A bionic approach for the mechanical and electrical decoupling of an MEMS capacitive sensor in ultralow force measurement

电容感应 解耦(概率) 微电子机械系统 材料科学 灵敏度(控制系统) 声学 电子工程 光电子学 电气工程 工程类 物理 控制工程
作者
Wendi Gao,Bian Tian,Cunlang Liu,Yingbiao Mi,Jia Chen,Libo Zhao,Tao Liu,Nan Zhu,Ping Yang,Qijing Lin,Zhuangde Jiang,Dong Sun
出处
期刊:Frontiers of Mechanical Engineering [Springer Nature]
卷期号:18 (2) 被引量:1
标识
DOI:10.1007/s11465-023-0747-1
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