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<title>Low-temperature piezoelectric aluminum nitride thin film</title>
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网址
https://doi.org/10.1117/12.396425
DOI
10.1117/12.396425 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Laurie Valbin; Laure Sevely; S. Spirkovitch
出版日期：2000-08-25
求助人
bb 在 2025-10-20 19:06:38 发布自四川，悬赏 20 积分
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